二手 NORDSON / MARCH AP-600/300 #9401924 待售

MARCH AP-600/300是一種用於半導體行業的蝕刻器/asher。它專為生產需要超高精度蝕刻和灰化工藝的元件而設計。這種蝕刻器/灰化器具有高達10-6 torr的真空能力，使用戶能夠以最小的汙染或缺陷風險將材料精確地沈積到基板上。蝕刻器/asher還具有雙頻等離子體發生器，頻率在600至300 kHz之間，產生了一個高離子密度的過程，最大持續功率高達15 KW。NORDSON AP-600/300配備了數字觸摸屏控制器，提供易於使用、直觀的蝕刻器/asher功能控制。用戶可以選擇所需的蝕刻工藝類型，包括CF4、CF2Cl2、LASMA、N2O、O2和H2，系統將自動調整每個工藝的功率和壓力設置。可以對各種參數設置進行編程,從而可以精確控制蝕刻速率和其他過程變量。NORDSON/MARCH AP-600/300提供的精密蝕刻和灰化是生產半導體元件的理想選擇，包括高精度V型凹槽、互連、柵極蝕刻和通孔。對於廣泛的材料，包括多晶矽、鋁、SiO2、Si3N4和粘合層，蝕刻/灰化過程可以在X-Y平面上精確偏移。此外，蝕刻器/asher與一系列配件兼容，包括一套通用編程模板、各種特定於流程的樣板托盤，以及一些自動裝卸臂。蝕刻器/asher還具有一個無失真成像系統，為用戶提供正在處理的基板的清晰、詳細的視圖。總體而言,MARCH AP-600/300是精密半導體生產應用的絕佳蝕刻器/灰化器。此蝕刻器/asher具有廣泛的工藝設置、自動裝卸臂和無失真成像系統,旨在滿足即使是最復雜的蝕刻和灰化要求。