二手 NORDSON MARCH FlexTRAK #293798779 待售

NORDSON MARCH FlexTRAK是為高速晶圓處理而設計的最高性能蝕刻器/asher。FlexTRAK設計占用空間小,擁有成本低。它通過使用專利Q-2技術提供卓越的性能。該設備設計的固定溫度範圍為35°C至150°C，適合廣泛的晶圓應用。該系統還提供氣體-1或氣體混合控制,在不同的蝕刻和灰度溫度下可靈活處理。NORDSON MARCH FlexTRAK設計有一個獨立的真空單元，允許它在沒有內部真空泵的情況下運行。這樣可以提高流程效率,減少處理時間和功耗。該機還配備了氣體排氣功能，允許多余的氣體和微粒安全排放。FlexTRAK采用可拆卸蓋構造，允許快速進入內部氣體面板和隔離器，以調整不同蝕刻和灰化操作的參數。它的變速輸送機工具允許廣泛的工藝速度，使得它適用於低和大體積的應用。NORDSON MARCH FlexTRAK還具有圖形用戶界面（GUI）,可輕松訪問設置創建和存儲以及高級管道和診斷。GUI還提供了一種設置過程參數的方法,例如蝕刻和灰化率、晶圓大小以及其他特定於應用程序的設置。FlexTRAK是一種經濟實惠的高端晶圓處理解決方案，其設計非常適合用於小規模生產。其變速輸送機資產和先進的GUI在易於操作的模型中提供了最大的控制和靈活性。設備還可以方便地擴展，以適應未來的需求和工藝應用。