二手 NORDSON MARCH FlexTRAK #9299708 待售

NORDSON MARCH FlexTRAK是一個高級蝕刻或蝕刻/洗滌平臺，設計用於研究、開發和測試新的蝕刻、清潔和洗滌工藝。它能夠處理各種工藝化學物質，以精確調整和控制蝕刻深度、蝕刻時間、蝕刻汙染、蝕刻排泄率和蝕刻速率。MARCH FlexTRAK控制所有蝕刻參數包括蝕刻反應堆加壓、晶圓預熱系統、等離子體氣流、向電極供電、可調射頻功率、可調蝕刻溶液體積。NORDSON MARCH FlexTRAK平臺可用於創建特定於應用程序的配方,利用對所有參數的精確控制來獲得最佳蝕刻結果。FlexTRAK在其創新、易於使用的設計中支持多種工藝化學。蝕刻過程化學是完全模塊化的，這意味著用戶可以在蝕刻過程中添加或移除化學。這在開發各種工藝配方時特別有用，因為用戶可以輕松地在不同的化學方法之間切換。NORDSON MARCH FlexTRAK由一個單室真空蝕刻器/洗衣機、多個集成的處理室以及一個控制整個蝕刻、清潔和幹燥過程的數字觸摸屏控制面板組成。蝕刻室由高頻電源供電，允許精確控制蝕刻速率和蝕刻深度。蝕刻室還包含一個內置的水分傳感器，以確保在基板表面均勻蝕刻。綜合工藝室提供可調的工藝化學組合，以開發新的配方，允許清潔和後蝕刻工藝，並提供優化的蝕刻環境。內置傳感器和控制系統確保了最佳蝕刻輪廓。最後,FlexTRAK具有強大的用戶界面,可管理所有蝕刻參數。控制面板允許調整所有蝕刻參數，包括蝕刻深度、蝕刻時間、溫度、氣流和射頻能量。它還具有高級建模和數據收集功能,能夠準確開發獨特的蝕刻工藝。此外,MARCH軟件套件可輕松將蝕刻和清潔過程集成到單個應用程序中,從而簡化流程開發。總之，NORDSON MARCH FlexTRAK是一個功能強大的蝕刻、清潔和清洗平臺，提供用戶友好的控制、廣泛的工藝化學方法、可調蝕刻參數，以及一系列集成傳感器和診斷程序，可精確控制蝕刻工藝。它易於使用的控件和強大的功能使其成為各種蝕刻應用程序的理想平臺。