二手 NORDSON / MARCH MaxVIA #9314778 待售

NORDSON/MARCH MaxVIA是一種先進的自動Etcher/Asher，用於晶圓和基材的高容量、精密蝕刻和灰化。MARCH MaxVIA旨在在處理各種材料時提供快速一致的結果。該過程從將晶片加載到NORDSON MaxVIA的用戶友好型轉運站開始,該轉運站安全定位並保持晶片進行處理。MaxVIA配備了幾個安全功能，包括晶圓處理系統、防彈跳懸架、晶圓定心單元以及為提供安全操作和保護環境而設計的惰性氣體凈化裝置。NORDSON/MARCH MaxVIA具有兩個獨立的電源,每個電源可提供高達400瓦的功率。這樣可以實現理想的工藝溫度,確保每個工藝批次的結果一致。蝕刻器/asher還設計了一個精密的過程控制系統，可用於生成程序循環時間和過程參數如溫度、壓力和氣體流速。工程師可以自定義每個工藝的配方,設置蝕刻和灰化率、溫度、氣體混合物和其他參數以創建所需的結果。MARCH MaxVIA還提供兩個獨立控制的工藝室，方便晶圓同時蝕刻和灰化。NORDSON MaxVIA的精確且可重復的結果，除了維護成本低外，使其成為大容量蝕刻和灰化應用的理想解決方案。操作員還可以通過PC或智能手機遠程訪問進程室，允許用戶從任何位置監控和調整配方。總體而言,MaxVIA是功能強大但用戶友好的Etcher/Asher,非常適合各種應用程序。它的安全特性有助於確保安全的操作環境，而其可編程參數和多個腔室則進一步提高了效率和精度。