二手 NORDSON / MARCH MaxVIA #9397009 待售

NORDSON/MARCH MaxVIA是為半導體封裝、微電子及相關行業而設計的先進的自動化蝕刻和asher設備。它利用先進的等離子體蝕刻在薄膜基板上產生精確的特征。MARCH MaxVIA是Nordsom知名的MaxFlex等離子體系統的擴展版本，提供了更高的蝕刻速率和卓越的特性精度。NORDSON MaxVIA具有為生產用途而設計的高通量、高精度等離子蝕刻單元。它能夠從多種材料中蝕刻多層，包括光刻膠、SiO2、Si3N4和石英。其先進的等離子體源由兩個平板等離子體源組成，為高通量、高蝕刻速率的精細結構和電路提供可控、聚焦、深蝕刻等離子體。該機具有多種智能設計特點，如先進的反饋控制工具，可確保高蝕刻均勻性和可重復性。它集成了光學掃描功能，大大減少了序列間的錯位，允許精確的特征配準和模式精度。MaxVIA還具有先進的安全系統，例如一個完整、集成的不銹鋼吸塵室和靜態清潔傳感器，以及一個帶有機電互鎖的強真空鎖。這確保了操作員的安全，並提供了一個清潔無汙染的基材加工環境。NORDSON/MARCH MaxVIA可以手動或全自動模式操作，允許用戶根據生產需要選擇最佳的處理配置。它還有一個可選的機器人預對準資產，它允許多個基板加載到模型中，以便相對於源和目標位置精確放置。MARCH MaxVIA是一個功能強大、可靠且靈活的解決方案,用於生產微電子和半導體封裝行業的高精度結構、特性和電路所需的高級蝕刻和灰化系統。其集成的安全系統、自動控制功能和符合人體工程學的設計為用戶提供了高效、安全的生產環境,並帶來了很多好處。