二手 NORDSON MARCH ProVIA #9374850 待售

NORDSON MARCH ProVIA是一種幹式蝕刻機，設計用於半導體和光電加工。ProVIA用於從矽片到玻璃的各種材料的深度蝕刻、平面化和圖案化。它具有低顆粒環境、真空環境和高處理能力。NORDSON MARCH ProVIA是一款可靠、穩定和高精度的設備。它高度可配置用於各種應用，包括可調諧的射頻電源和真空室。系統的主要部件是一個進程室、負載/卸載模塊、射頻感應電源、輔助硬件和過程控制系統。ProVIA的製程室設有40個開放口和5個樣本套件方便。它在平面化方面提供了極好的一致性,從而實現了可重復的結果。其先進的等溫溫度控制裝置可在基板上提供高達800°C的溫度控制。還有一個不均勻的氣體分配機，它提供了較長的加工時間和橫跨基板的均勻蝕刻速率。NORDSON MARCH ProVIA的射頻電源設計為即使在處理重載晶片時也能保持穩定。其先進的射頻控制工具提供了多種調諧參數，如超調和歇斯底裏，對過程均勻性和蝕刻速率提供了極好的控制。資產還具有高精度的監控/允許模型，允許用戶實時調整過程參數。ProVIA還設計用於快速周轉時間，短處理周期只有30秒。它具有低成本維護功能,大多數模塊和部件易於更換。它效率高，對人體工程學友好，需要最小的操作空間。它的快速處理時間和多個樣本集使其成為需要高吞吐量的應用程序的絕佳選擇。NORDSON MARCH ProVIA是一種全面可靠的幹蝕刻解決方案,用於通過多種材料進行深度蝕刻、平面化和陣列化應用。它具有極好的均勻性、較長的處理時間和較快的周轉時間，是半導體和光電加工的理想選擇。