二手 NORDSON VIA-LVO #9217334 待售

NORDSON VIA-LVO是一種全自動蝕刻器/asher設備,旨在簡化實驗室中的精密蝕刻和灰化過程。這種通用系統的設計允許用戶在各種應用程序中以精細的分辨率和受控的深度蝕刻樣品。該單元是蝕刻鋁、鈦、的樣品以及其他金屬和電介質的理想選擇。VIA-LVO是一種計算機控制、多腔、多刀具的機器，可同時處理多達四個蝕刻樣品。該工具包括一個外部計算機資產，以提供用於操作的圖形界面。它還包括兩個用於運動控制的光學臺式系統，兩個用於氣溶膠控制的過濾系統，以及一個用於大氣壓力控制的壓力表模型。NORDSON VIA-LVO設備能夠在深度上蝕刻200 um,最小特征尺寸為1微米。根據金屬類型的不同，它能夠以高達20微米/分鐘的通量蝕刻金屬和介電樣品。該系統可用於多種蝕刻類型，包括金屬各向異性和各向異性蝕刻，以及化學和等離子體蝕刻。VIA-LVO單元的設計方便了設置和操作。它配備了一臺裝卸機，用於自動裝卸樣品到蝕刻室。該工具還具有可調的工藝參數和氣體壓力，以定制蝕刻工藝，以適應特定應用程序的特定需求。還包括一個獨立的除霧器，它從蝕刻室中去除不需要的顆粒。NORDSON VIA-LVO可以配置各種蝕刻工具，如ICP、TAB、CVD和RIE，這取決於要蝕刻的材料。該資產還提供了多種安全功能，如自動氣體關閉模型、緊急安全關閉閥和差動壓力表，以保護設備免受潛在的爆炸。VIA-LVO 蝕刻器/asher是各種材料精密蝕刻和灰化的絕佳選擇。它提供了簡單的設置操作，出色的蝕刻質量和準確性，以及多種安全功能，以確保操作員的安全。NORDSON VIA-LVO具有廣泛的功能,是金屬、電介質和其他材料精密蝕刻和灰化的理想系統。