二手 NOVELLUS Aura 2000LL #293594774 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 293594774
Asher
Part No: 99-0339
Non-copper
Components:
Make / Model / Description / Part number
- / - / Load lock chamber / A01-218-01
GASONICS / 94-1175 / Indexer elevator / 04630-003
GASONICS / 94-1174 / Indexer elevator / 04630-004
GASONICS / 94-1118 / Load lock elevators / 04290-201
GASONICS / 94-1119 / Load lock elevators / 04290-101
DEXON / FFU / - / MS43E-1040
GASONICS / - / Loadlock rear panel display / A95-107-01
MKS INSTRUMENTS / Baratron / - / 622A11TDE
MKS INSTRUMENTS / 150 / Pressure controller / 152H-P0
MKS INSTRUMENTS / - / Valve / 253B-11020
NOVELLUS / - / Waveguide systems / 95-4477
(1) / VARIAN / - / Valve / L6281703
(1) / OMRON / Sysmac C40H / PLC / C40H-060R-DE-V1
PCB:
Make / Model / Description / Part number
GASONICS / - / Plasma / A90-031-03
GASONICS / - / Controller board / 90-2658
GASONICS / - / Display decoder / 90-2609
GASONICS / - / Loadlock interface BD / 90-2608
HINE DESIGN / - / ARM Controller board / 02423-001 / 06764-001
NOVELLUS / A2000 / Interlock BD / 90-2735
Wafer handling robot / arm unit missing
CE Marked.
NOVELLUS Aura 2000LL是一種用於半導體織物的最先進的蝕刻/asher解決方案。Aura 2000LL采用耐用的材料和先進的技術制造而成，對各種粒度的基材進行快速、精確的加工。其加工室內徑為500 mm，可容納大基板，其優化的蝕刻/灰化空間均勻性有助於確保優異的工藝效果。NOVELLUS光環的封閉式機器設計2000LL通過多個蝕刻源、排出顆粒和通風系統有效地發揮作用。與傳統蝕刻配置相比,它還具有低成本維護功能,因為它具有自上而下的灰度處理功能。此外,該工具還提供了可編程的多區域基板控制,從而最大程度地提高了工藝靈活性。具體來說，該機配備了三個蝕刻光源，一個VHF光源、一個微波源和一個寬光束光源。VHF源是最常用的，可以提供多區能力，可以蝕刻小或大的基板，而不需要減小腔室直徑。這種蝕刻源的多功能性使Aura 2000LL能夠精確地處理各種材料和蝕刻深度。而且，它的高頻、大功率操作有助於保持高工藝均勻性，使其適合應用於大批量產品移動。同樣，NOVELLUS AURA 2000LL上的微波源提供了一種多模式蝕刻方法，具有較高的處理速率和高質量的結果。然而，寬束光源被用於借助高能電子束快速處理底物。這種光束能夠誘導不希望的充電，最終需要中和並安裝陽極板。最後，Aura 2000LL以其可靠的CIP（清潔到位）操作與其他化學蝕刻溶液區分開來。這種化學綜合清洗工藝有助於清除和防止汙染物的形成，確保蝕刻室充滿盡可能清潔的環境。NOVELLUS Aura 2000LL的這種創新自我維護有助於提高其可重復性和可重復性,以實現高級工藝能力。作為屢獲殊榮的NOVELLUS系列產品的一部分,Aura 2000LL與其他蝕刻系統脫穎而出,可靈活地容納各種基材尺寸和高品質的蝕刻深度。它優化了蝕刻/灰化和高速操作的空間均勻性，非常適合半導體織物中要求很高的應用。
還沒有評論