二手 NOVELLUS Gamma 2100 #9083213 待售

NOVELLUS Gamma 2100是一款針對多種精密蝕刻應用而設計的蝕刻器/asher設備。適用於需要高分辨率成像、均勻蝕刻和嚴格控制蝕刻速率的應用。該系統允許加工多種材料，包括金屬、電介質和復合半導體。伽瑪2100利用低壓晶片傳輸單元在晶片表面上保持精確且可重復的模式。該機還配備了精確、可重復的步進電機，控制晶圓定位和掃描，具有對齊和沈積圖樣薄膜層的能力。NOVELLUS Gamma 2100旨在處理直徑達300毫米的晶片，並利用2倍還原成像透鏡和法拉第籠板最大限度地提高成像性能。該工具使用了廣泛的氣體，能夠應用多個工藝步驟，包括掩蔽、蝕刻、灰化和剝離。伽瑪2100提供精確的蝕刻控制，具有更高的選擇性、更低的應力和更好的蝕刻控制深度。NOVELLUS Gamma 2100在蝕刻過程中還采用了專利的向上朝上的石英窗asher來保護晶圓。Asher提供小特征的均勻蝕刻以及晶圓上非常大的特征。它還使用平鋪工藝以更高效的方式蝕刻晶圓。Gamma 2100的設計充分利用了NOVELLUS系列高性能蝕刻和灰化化學的優異性能。NOVELLUS Gamma 2100是高性能微電子設備中關鍵組件的首選資產。它具有加工的可靠性和一致性，同時為頂層薄膜層沈積提供卓越的蝕刻和灰化性能。該模型還旨在為需要高度自動化的各種光刻工藝帶來卓越的均勻性。