二手 NOVELLUS Gamma 2100 #9225554 待售

NOVELLUS Gamma 2100是一款專為半導體制造中薄膜沈積而設計的高精度蝕刻器/asher。用於薄、鈍化、清潔基板，為各種電氣和光學設備制造多層塗層。該機器采用多頭蝕刻器/灰化器,精確度更高,可執行所需的處理。Gamma 2100采用開放式框架設計,可提高工作區域的能見度並便於維護。蝕刻器/asher具有先進的高能等離子體源，平均功率高達200 W，最大功率為1000 W。它利用離子與基材發生化學反應，生成薄膜。蝕刻速率範圍從0.2 nm/秒到6 nm/秒不等,具體取決於被蝕刻材料的組成。NOVELLUS Gamma 2100也有一個被稱為離子源控制的獨特功能。該特性優化蝕刻條件，提高基板均勻性。它允許用戶調整離子束的強度和焦點，以確保最佳蝕刻結果。機器還具有一個可選的預清潔功能,通過在蝕刻過程開始之前移除任何現有薄膜來準備基板。伽瑪2100在提供可靠和可重復的薄膜沈積結果方面迅速獲得了應有的聲譽。適用於廣泛的應用，如制造光電二極管、電容器、晶體管、場效應晶體管等。該機器適用於工業應用以及學術研究和原型設計項目。這是向高端部件生產邁出的高效、經濟高效的一步。