二手 NOVELLUS Gamma 2100 #9228361 待售

NOVELLUS Gamma 2100是NOVELLUS Systems針對IC封裝應用開發的蝕刻器/asher。它是一種采用感應耦合等離子體（ICP）蝕刻和化學氣相沈積（CVD）工藝的多過程單室蝕刻器/灰化器。伽瑪2100可以蝕刻銅（Cu）或鋁（Al）金屬化層和復合通過填充層，用於高長寬比封裝。NOVELLUS Gamma 2100能夠蝕刻鋁、鈦、鎳、金、銀、合金、以及薄膜金屬化結構的Cu基材料等材料。還可以針對一系列工藝參數進行編程,如基板溫度、射頻頻率、射頻功率和蝕刻流速,從而優化蝕刻速率和特征輪廓質量。此外,在單個腔室中蝕刻多層結構的能力可以加快吞吐量。Gamma 2100 蝕刻器/asher配備了包括兩個獨立模塊的工藝室。第一個模塊使用ICP工藝蝕刻材料層。這個過程創造了一個高溫、高密度的等離子體源，利用低溫ICP源的冷等離子體技術蝕刻材料。第二個模塊用於使用矽基化學沈積化學氣相沈積（CVD）層。該模塊還包括一個獨立的冷晶片支架，以促進CVD層的共平面化。NOVELLUS Gamma 2100還有一個熱區，可以針對特定的應用程序流程量身定制。熱區可以維持各種基材溫度，以保持蝕刻過程穩定，同時確保晶圓在蝕刻過程中保持平坦。熱區的溫度可在200°C至500°C之間調節。此外，蝕刻器/粉碎器采用快速負載鎖定系統，將加工室與環境完全隔離，並清除腐蝕性和危險材料，以便安全處置廢物。此外，Gamma 2100最多可支持五種不同的蝕刻化學方法來蝕刻各種薄膜結構。NOVELLUS Gamma 2100 蝕刻器/asher是一個用戶友好的系統,允許操作員快速更改程序和組件以跟上不斷變化的產品需求。它是一種可靠且高度精確的蝕刻工具,具有很高的生產率,能夠滿足最苛刻的包裝要求。