二手 NOVELLUS Gamma 2100 #9236709 待售

NOVELLUS Gamma 2100是由NOVELLUS Systems Inc設計制造的蝕刻/asher設備。這個先進的蝕刻和asher系統能夠處理半導體工業中的多種底物，包括多晶矽、金屬和絕緣體。它采用NOVELLUS專利底物溫度控制（STC）技術,能夠精確控制工藝溫度,以便精確蝕刻和去除氧化物。該設備還具有測量晶片內性能和跨晶片工藝性能的成像功能,每一層都是根據客戶規格創建的。該蝕刻器還具有先進的納米級沈積能力，具有高精度的光束脈片技術，可實現薄膜層的精密沈積。Gamma 2100包括復雜的流程控制和自動化,允許自動編程各種流程和配方。其高速、高精度的掃描板精確地在基板表面移動，允許掃描長度高達40微米每步。該機還包括一個高精度的X-Y掃描級，以及一個雙通道靜電卡盤，用於直徑可達150 mm的基板。NOVELLUS Gamma 2100利用其高分辨率數據收集,能夠分析低至0.004微米的蝕刻特征。它還提供高分辨率成像能力來測量晶片內性能和跨晶片性能。此外,由於其板載圖像處理功能,它能夠實時檢測和識別非常小的特征,而無需任何手動優化。Gamma 2100由於其自動校準階段，也提供了高度的可重復性。它允許用戶建立目標值並快速為每個晶圓建立一致的結果。該機還設有車載配方庫和軟件，使用戶能夠方便地維護儀器設置和處理配方。除了優越的工藝性能，NOVELLUS Gamma 2100還提供低成本的操作。其節能設計保證了更高的吞吐量和最低的氣體消耗。這反過來又降低了業務成本，提高了總體效率。總體而言，Gamma 2100是一種先進的蝕刻器/asher工具，能夠精確控制工藝溫度和沈積納米級薄膜層。它提供高精度成像來測量工藝性能,自動校準以確保可重復性,並且由於其節能設計而降低了運營成本。NOVELLUS Gamma 2100是一種可靠、用途廣泛的資產，非常適合在半導體行業中加工多種基材。