二手 NOVELLUS Gamma 2130 #293627326 待售
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單擊可縮放
ID: 293627326
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
PR Stripper, 12"
BROOKS TM V6 Fixload
KEYENCE Light curtain
YASKAWA Aligner
02-169208-00 EFEM Robot
(5) ENI GHW-50A-04 RF Rack generators
(2) Generator racks
UI Panel
RF Signal cable
Loadport
IU Panel
Robot station
Power rack
Process chamber:
YASKAWA Spindle
GXT type
(4) EPD
(5) CPMX-3000 RF Matchers
(5) 02-352103-00 RF Sources
(4) BROOKS MFC
Load/unload port
HDIS Pedestal
Fixed pedestal
Athena computer
UI Computer
MDC ISO Gate valve
NC Throttle valve
V-TEX Slit valve
MKS 10 Torr manometer
Gas box: O2, N2, H2N2, CF4
2003 vintage.
NOVELLUS Gamma 2130是為高生產力應用而設計的蝕刻器/asher。該設備獨特的工藝技術、設計和功能使其能夠提供低成本、高性能的蝕刻和灰化操作。Gamma 2130是先進技術節點過程開發和經濟高效、制造生產和維護的理想選擇。NOVELLUS Gamma 2130以緊湊的占地面積打造，使其適合各種應用需求和吞吐量要求。該工藝室最多可處理八個晶片，完全控制配方參數，允許過程可重復性。炮塔裝有一個石英淋浴頭和一個電子束淋浴頭，允許廣泛的工藝選擇。該系統由功能強大的流程控制器驅動，提供穩定的流程環境，並具有直觀的圖形用戶界面。伽瑪2130配備了先進的多脈沖發電機。該發電機自動調整和補償過程室內的熱負荷，提供一致的過程窗口。發電機還具有先進的工藝控制功能，可自動保持最佳蝕刻和灰化條件。高級工藝控制器還有助於確保過程參數穩定,包括蝕刻和灰度時間、壓力和溫度。NOVELLUS Gamma 2130與廣泛的工藝化學方法兼容，能夠使用單一或多晶圓骰子。此外，該單元的設計易於升級，增加了房間和其他各種選項。Gamma 2130還支持在線和離線監控所有流程功能。總體而言,NOVELLUS Gamma 2130為各種應用程序提供了高效、高性能的蝕刻和灰化解決方案。該機器強大的過程控制和準確性使其成為開發和生產過程的理想選擇。它還為生產具有高質量表面飾面的均勻零件提供了穩定性、重復性和可靠性。
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