二手 NOVELLUS Gamma 2130 #293627328 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 293627328
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
PR Stripper, 12"
GXT Chamber
YASKAWA Aligner
KEYENCE Light curtain
(5) ENI GHW-50A-04 RF Rack generators
(2) Generator racks
BROOKS TM V6 Fixload
02-169208-00 EFEM Robot
UI Panel
IU Panel
RF Signal cable
Loadport
Robot station
Power rack
Process chamber:
YASKAWA Spindle
Express type: Bell jar and quartz tube upgraded
(4) EPD
(5) CPMX-3000 RF Matchers
(5) 02-352103-00 RF Sources
(4) BROOKS MFC
Load / Unload port
HDIS Pedestal
Fixed pedestal
Stage: Preheat
Athena computer
UI Computer
MDC ISO Gate valve
NC Throttle valve
V-TEX Slit valve
MKS 10 Torr manometer
Gas box: O2, N2, H2N2, CF4
2004 vintage.
NOVELLUS Gamma 2130是一款高精度的蝕刻器/asher，旨在滿足半導體行業的需求。它是一種全自動蝕刻器/asher,提供全方位的工藝功能,能夠生產各種晶圓尺寸的高性能設備。它配備了最先進的PECVD室，能夠生產均勻優質的氮化物、氧硝化物和多晶矽薄膜沈積物。Gamma 2130還具有用於布局設計的高分辨率成像和圖案系統,以及用於精確蝕刻或灰化的精確掩蔽。NOVELLUS Gamma 2130能夠以高吞吐速率沈積或蝕刻幾層不同厚度和尺寸的層。其最大蝕刻速率為1000A/min，可實現50 mm晶圓以上均勻性的重復結果。該平臺提供了無與倫比的對反應性物種濃度和底物溫度的控制。此外，還可以配置一系列氣體輸送和過程控制系統，以支持各種沈積和蝕刻應用。伽瑪2130采用最新技術建造，額定壓力為1000mBar。它配備了高精度的端點監控系統，以確保對各種晶圓尺寸和材料的精確計量和過程控制。先進的成像系統和軟件設置可以提高塗層和蝕刻工藝的產量和一致性。該系統還設計用於在高灰塵和沈積或蝕刻速率下的性能。NOVELLUS Gamma 2130由於其內置的安全機制和冗余的保護系統,提供了盡可能高的安全性和可靠性。它設計為可以長時間不間斷運行,並且可以根據所需應用程序的需要輕松定制。Gamma 2130是一款健壯且先進的蝕刻器/asher,可為任何半導體工藝提供靈活、可靠且經濟高效的解決方案。
還沒有評論