二手 NOVELLUS Gamma 2130 #293773386 待售

NOVELLUS Gamma 2130是一種用於半導體晶片等離子體加工的蝕刻器/asher。由於其獨特的離子等離子體源和集成的Endura®蝕刻控制,該機器能夠進行高級蝕刻和灰化工藝。這種設備允許快速和精確的晶片蝕刻，以便在晶片上創建小而復雜的特征。伽瑪2130有一個等離子體源，能夠產生高達5kW射頻功率的高密度離子等離子體。這樣可以實現可靠的原位蝕刻/ashing工藝控制和出色的蝕刻均勻性。集成的Endura®蝕刻控制系統優化了蝕刻過程,確保了蝕刻圖案的最大均勻性。NOVELLUS Gamma 2130專為方便靈活的晶圓傳輸而設計，可實現最小腔室冷卻和快速循環時間。其創新的穿梭裝填單元允許蝕刻室快速裝卸，由於其自動門和位置傳感器，停機時間最短。此外，該室還配備了可根據晶圓地形水平和垂直調整的多Tower™塔。伽瑪2130是一個獨立的，集成蝕刻/灰化機能夠蝕刻高達200毫米晶圓。其腔室配有無柵格底部和優化的源分布，確保了出色的並行處理，從而產生了較高的生產率和小特征的蝕刻。此外,由於其直觀的圖形用戶界面和嵌入式Endura®蝕刻控制工具,該計算機易於使用。因此，NOVELLUS Gamma 2130是MEMS、TSV、Through Silicon Vias等各種先進半導體工藝的理想蝕刻/灰化資產。Gamma 2130以其可靠的運行和較高的吞吐量，可用於大容量半導體制造的生產和開發。