二手 NOVELLUS Gamma 2130 #293820192 待售

NOVELLUS Gamma 2130是一種蝕刻和asher設備，在氧化物、氮化物、金屬和多晶矽的工藝序列上運行。它利用各種蝕刻工藝，包括幹蝕刻和濕蝕刻，以實現對工藝和物料去除的精確控制。該系統允許可重復生產高質量、高性能的設備,包括模擬、數字和混合信號電子設備。伽瑪2130利用先進的基板夾緊裝置，確保加工晶圓和基板材料的高精度、可重復的配準。此功能可確保準確進行蝕刻和灰化過程,而不會損壞基材。NOVELLUS Gamma 2130還利用了額外的自動化設置功能和可重復性檢查,以確保產生始終如一的高質量結果。機器的加工室使用高精度氣體輸送工具操作，設計用於氧化、氮化物和金屬蝕刻，以及化學機械拋光（CMP）工藝。它還具有先進的可編程蝕刻控制器,能夠精確控制過程,協助生產薄膜和高精度設備幾何形狀。除了這些特性之外，Gamma 2130還能夠同時進行多次蝕刻，使得多個晶圓的快速處理成為可能。此功能有助於加快生產速度並減少停機時間。蝕刻資產還包括若幹安全特征，如超溫檢測和泄漏檢測，以保護設備和人員免受潛在危險情況的影響。NOVELLUS Gamma 2130是一款高級蝕刻器和asher模型,能夠提供對操作的精確控制。它旨在實現薄膜和高精度設備的快速、可重復和可靠的生產。Gamma 2130具有多種蝕刻工藝、自動化設置功能和安全功能,為蝕刻和灰化應用程序提供了可靠的平臺。