二手 NOVELLUS Gamma 2130 #9260075 待售

NOVELLUS Gamma 2130是一款高級蝕刻/灰燼工具,可為各種蝕刻/灰燼應用程序提供卓越的工藝能力和可靠性。針對CMOS制造工藝的需要進行了優化,為大容量應用提供了卓越的特性控制、工藝一致性和周期時間。Gamma 2130具有先進的三梁設計,可提供均勻的四面墻輪廓,用於高長寬比處理。它采用獨特的超高速幹涉儀，保持精確的光束放置，以穩定蝕刻/灰燼性能。該工具還包括可調節的狹縫開口,用於在各種晶圓尺寸上進行工藝調整,以及用於可靠背面保護的先進幹蝕刻工藝。NOVELLUS Gamma 2130具有高吞吐量體系結構,可實現長達24小時的無人值守操作。它利用全面的機器人處理與工廠中的其他機器進行無縫集成。內置傳感器和反饋控制環路可確保持續的性能監控和穩定性驗證。該系統還配備了先進的診斷技術。它具有增強的控制臺顯示屏,可實時監控流程參數和系統性能。此外，Gamma 2130為改進的配方和模型預測提供了不均勻的輸入數據。NOVELLUS Gamma 2130是一款功能強大的蝕刻/灰燼工具,旨在滿足最苛刻的CMOS制造工藝的需求。它提供了卓越的特性控制、更大的工藝一致性和更短的周期時間。該機先進的三梁設計和復雜的診斷技術使其成為各種蝕刻/灰燼應用的強大而可靠的工具。