二手 NOVELLUS Gamma 2130 #9282119 待售

NOVELLUS Gamma 2130是一款高性能蝕刻器/asher，設計用於各種基材的蝕刻和灰化，包括金屬、陶瓷、石英、玻璃。伽瑪2130利用先進的電子束蒸發技術加上低溫冷卻技術，創造出分辨率、均勻性和可重復性都很好的蝕刻和灰分剖面。NOVELLUS Gamma 2130具有強大的計算機控制沈積設備,它可以在最小熱漂移的情況下實現高速率沈積。集成的計算機系統允許自動編程和控制蝕刻和灰化過程,同時監控溫度、功率和壓力變化。伽馬2130允許靈活配方控制具有高可重復性，使精確的劑量和均勻的組成跨底物低熱漂移。NOVELLUS Gamma 2130設計為密封室，提供增強的安全性、過程重複性和精確度。它能夠精確地控制蝕刻/灰分/沈積參數，每個工藝都能獨立控制，以確保材料的不斷輸送。密封室還允許各種氣體在各種壓力下進入，以實現最佳工藝控制，並通過提高均勻性增強蝕刻/灰分輪廓。伽瑪2130具有高負載能力和多區溫度單元。這樣可以在較大的蝕刻區域實現更好的均勻性和更好的熱控制,並提高工藝的可重復性和準確性。由於材料沈積率較高，也顯著縮短了工藝時間。NOVELLUS Gamma 2130提供卓越的性能和可重復性,並具有非常低的粒子生成,可實現最佳地形控制。它被設計成易於集成到生產線和自動化系統中，允許快速和一致的基板制備。其先進的控制機器提供了高效、高精度的蝕刻和灰化工藝，產生了優越的質量蝕刻和灰分效果。