二手 NOVELLUS Gamma 2130 #9377872 待售

NOVELLUS Gamma 2130是一款在半導體器件制造中為晶圓級加工而開發的高溫等離子體蝕刻器/asher。該設備的設計符合行業嚴格的工藝規範，具有卓越的蝕刻均勻性，具有無與倫比的可重復性和可重復性。伽瑪2130提供了對蝕刻深度、長寬比和表面粗糙度的精確控制，使得高性能的裝置結構如超淺結和閘門手指結構成為可能。它還提供了極好的等離子體均勻性和選擇性，保證了每臺設備的最高質量結構。該系統采用感應耦合等離子體（ICP）技術,具有專有的廣束電子回旋共振（ECR）等離子體源,具有較高的蝕刻選擇性和低至0.2 nm/min的蝕刻速率。其ICP電源提供了整個晶圓過程的出色均勻性。該單元包括一臺艾默生ASC-1000控制機，以確保嚴格的過程控制，提高每個蝕刻過程的重復性和重復性。NOVELLUS Gamma 2130具有自對準的陶瓷窄軌跡靜電卡盤（ESC），用於在加工過程中保持晶片。ESC提供高均勻度的磁感器卡盤溫度和壓力，確保整個晶片的均勻蝕刻速率。Gamma 2130還具有氣體界面面板（GIP），可方便氣體裝卸，以及精確控制反應物氣體流量和混合。該工具在選擇工藝氣體及其組合方面提供了靈活性，為各種應用要求提供了各種各樣的工藝選擇。NOVELLUS Gamma 2130的蝕刻工藝是借助原位橢圓偏光計進行實時實時蝕刻端點檢測的優化。它還提供了過程開發、腔室優化和後處理分析等綜合診斷功能。Gamma 2130可輕松集成在潔凈的房間環境中,並提供低廉的運營成本,使其高效且經濟高效。其優越的蝕刻均勻性和選擇性使其適合晶體管、電容器和電阻蝕刻工藝等廣泛的應用。