二手 NOVELLUS Gamma 300 #132117 待售

NOVELLUS Gamma 300是一款單晶片電化學蝕刻器/asher，設計用於先進的光掩模光刻工藝。它配備了強大的等離子體系統，能夠產生高達70瓦的RIE功率，並且可以蝕刻多晶矽、氧化矽和鋁，深達2700埃。伽瑪300使用了幾種先進的蝕刻技術，包括控制柵格反應性離子蝕刻（CGRIE）和平面蝕刻（PE）。CGRIE是雙層蝕刻和單層或多層掩蔽的組合。PE允許精確控制高縱橫比垂直蝕刻。這兩種技術都以很高的速度產生統一的高質量模式。NOVELLUS Gamma 300還利用了一種專利工藝室，它需要最少的維護，而且蝕刻深度的可重復性很強。它具有低壓、低溫操作，減少產生的廢物量，比其他單晶片蝕刻器需要更少的能量。該系統采用晶圓存儲器、裝載器和卸載器模塊、機器人機械手以及各種控制模塊。所有這些模塊都由易於使用的觸摸屏界面控制,該界面允許操作員輕松瀏覽各種蝕刻過程。Gamma 300具有高達30個晶片/小時的出色吞吐量和全自動蝕刻工藝,是任何蝕刻和光掩模光刻應用的絕佳選擇。