二手 NOVELLUS Gamma Express #293618743 待售
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單擊可縮放
ID: 293618743
晶圓大小: 12"
Stripper / Asher, 12"
MF: GAMMA 2130 Upgrade
Wet process
OHT PIO Sensor
FOUP
(3) Carrier stages
GEM / CIM JGJ
Earth leakage breaker
Signal tower: Red / Yellow / Green / Blue
EMO:
Front
(2) Rears
Interconnect hardware: PM to pump 50 ft
Cables: TM to sub panel, 100 ft
MDP Powerbox
External interlocks
Etcher chamber: Positions 1 to 6
RF Cable length: RFG to matcher 30 ft
MKS GHW-50A Generator
HI-THLD (XPR Type)
Standard chamber kit
Wafer lift mechanism: Fin
O-Rings: Fluorosilicon / TEV
Gate valve: Barrier seal door
Gas system type: (4) Gases
FOUP / ATM Robot / 3 FOUP Backend / YASKAWA MP2300i controller
Cassette ID: Hermos carrier ID
User interface options: Side and front monitor UI
Conditioning station
Monitor: Flat panel display touch screen type
Maximum power 5000 W + RF Match COMET 5 kW
UPS
Gas no / MFC Model / Gas / MFC Size
1 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / O2 / 50 SLM
2 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / N2 / 7 SLM
3 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / 4%H2N2 / 20 SLM
4 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / CF4 / 50 SCCM
Does not include:
Dry pumps
Hard Disk Drive (HDD)
No monitor (Windows)
Lamp and lamp holder non-functional.
NOVELLUS Gamma Express是一種蝕刻/asher設備，用於生產高性能集成電路。它能夠在多種先進材料中產生多種高分辨率的口罩、接觸層和金屬痕跡，包括非晶矽、多晶矽、鎢、金和其他導電材料。它是微電子制造中的重要工具，能在短時間內產生高可靠性的復雜模式。Gamma Express的主要部件是其主機和關聯的控制系統。大型機裝有實際的蝕刻器/asher，能夠執行高度精確和可控的蝕刻和沈積步驟。該系統可在壓力、溫度、停留時間和蝕刻環境等多種工藝條件下運行。它還能夠進行多次蝕刻循環，能夠精確蝕刻各種材料進行原型制作。NOVELLUS Gamma Express也能夠製作精確且可重現的影像進行檢查驗證。它具有先進的光學檢查能力，利用非接觸、無損技術在蝕刻前檢測任何缺陷。這也可用於在蝕刻之前檢測任何功能問題並保護蝕刻過程的準確性。Gamma Express專為高速、高性能和高精度而打造。它達到了很高的沈積速率，能夠在幾分鐘內達到理想的結果。該系統還具有多種氣源，能夠對蝕刻過程進行極好的控制。NOVELLUS Gamma Express具有先進的控制功能,能夠同時處理幹濕過程氣體,從而實現最高級別的蝕刻精度。Gamma Express還配備了用於人員和設備保護的先進安全功能。這些功能包括高級監控、警報和內置緊急停止,在發生任何違規情況時啟動。綜上所述，NOVELLUS Gamma Express是一款高度先進的蝕刻器/asher設備，可以快速可靠地在多種材料中產生高度精確和可重現的圖案。它專為高速、高精度而設計，並配備了多種安全功能，以保護人員和設備。
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