二手 NOVELLUS Gamma Express #293642130 待售

NOVELLUS Gamma Express是一款先進的蝕刻/asher設備，設計用於執行半導體和介電器件制造中的關鍵、大容量和高縱橫比蝕刻和灰化應用。這種最先進的蝕刻/灰化器系統旨在為各種基板（主要是矽和其他半導體材料）提供高速和高精度的蝕刻和灰化,具有卓越的吞吐量、工藝均勻性和產率。Gamma Express配置了高效的設計,並結合了遠程等離子體功能、垂直和橫向定向工藝、線性射頻和電容材料兼容性、減少輻射工程以及全自動基板處理單元等技術。這些功能可創建最佳蝕刻環境,從而降低與手動處理、裝配和控制操作相關的風險。NOVELLUS Gamma Express由氮等離子體源提供動力，能夠提供高強度等離子體、快速蝕刻速率和均質過程。遠程等離子體源可確保在各種材料上實現均勻和可重復的蝕刻線工藝,這些材料包括：矽、銅、散裝、鈦、鋁和其他金屬。此高級蝕刻線配置的最大等離子體持續時間可達8分鐘,蝕刻速率可達6 μ m/min,具體取決於基材。全自動基板處理是非常可靠和高效的，提供快速和可重復的處理與減少手動處理和零件輸入。Gamma Express還包括一個先進的嵌入式過程控制機，使用戶能夠監視、調整和編程工具以獲得最佳性能。這一先進的控制資產提供了四種蝕刻和灰化工藝配方，每種配方都具有可調的「蝕刻速率」參數，以容納各種基材和材料。用戶還可以自定義其蝕刻線配方,以實現更高的吞吐量速度,或優化其針對特定層或特征的流程。NOVELLUS Gamma Express的設計滿足高精度、大型晶圓規模的制造要求。這種先進的蝕刻/asher模型還提供了一致的高工藝一致性,從而實現了高產量、經濟高效的設備制造。Gamma Express旨在提供當今先進半導體器件制造要求所需的可靠性和可重復性。