二手 NOVELLUS Gamma Express #9169777 待售

NOVELLUS Gamma Express是一款高精度的蝕刻器/asher，設計用於在半導體制造過程中使用的各種基板上產生非常精確的產品特性。它專為高通量、高精度的微加工應用而設計，有多種腔室配置，用於蝕刻和灰化。Gamma Express是利用各向異性和幹蝕刻工藝的單一晶圓、多室蝕刻器/asher設備。它能夠產生低至5微米的特性大小，並且具有工具到晶圓的處理時間快達4秒。它具有先進的Cryo ECR源和氧氣和氮氣兩種工藝氣體，可提供精確的蝕刻和灰化工藝。其Intermix腔室包括兩個修改蝕刻選擇性和厚度的成分（用戶可配置）。其Jet Etch Enhancer與市面上的其他蝕刻器和ashers相比，提高了生產率。NOVELLUS Gamma Express采用了SENTRYX控制系統,該系統提供了一個完全集成的過程控制單元,並具有用戶友好的控制功能,使用戶能夠使用其RecipeEditor創建和管理蝕刻和灰化配方。它的高級診斷工具有助於跟蹤工具性能,並為預測性維護提供分析。它還具有JETON eXchange,用於控制清除過程以減少刀具停機時間。此外，Gamma Express還包括一個雙區負載鎖定室，旨在減少晶圓的操控和汙染，減少停機時間。最後，它有一個雙臂機器人以最大速度安全轉移晶片，以降低擁有成本。NOVELLUS Gamma Express蝕刻機具有先進的控制機器和處理多種基材的靈活性,是任何半導體生產環境下的理想工具。它提供精確的蝕刻和灰化過程,提高了生產率並降低了擁有成本。