二手 NOVELLUS Gamma Express #9171640 待售
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ID: 9171640
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Asher, 12"
Computer: ADVANTECH 620
Service PC: Integrated
Loader:
Single arm robot
Multi-slot transfer
(3) BROOKS AUTOMATION Fixload 6M Loader port
Blade: Ceramic
Chamber type:
(6) Platens
(6) Shower heads
(3) Top RF matches
Gas box:
MFC 1: CF4
MFC 2: H2 / N2
MFC 3: N2
MFC 4: O2
RF Power supply:
Matcher: ENI GHW-50A / COMDEL CPMX-3000
2004 vintage.
NOVELLUS Gamma Express是一款先進的半導體微加工蝕刻器/asher。它專為高速、超高精度、出色的塗層均勻性而設計。它廣泛應用於晶圓廠環境中處理半導體晶圓。Gamma Express由兩大組分組成：1）冷凝器，這是一個包含蝕刻/灰分氣體和底物的真空室；2）輸電系統，負責將輸出源輸送到基板。蝕刻/灰燼源是電子束槍，為了蝕刻/灰燼材料而產生高能離子。電子和氣體分子之間的相互作用在底物上產生蝕刻/灰度模式。NOVELLUS Gamma Express由於精確控制光束路徑，為蝕刻/ashing圖案提供了極好的均勻性。它配備了各種卡盤、準直器和光學系統，以精確對準基板，確保均勻蝕刻。蝕刻器/asher還包括各種脈沖電源和用於精細控制過程參數的異步驅動程序。這樣可以精確控制蝕刻速率、深度、均勻性、選擇性、蝕刻長寬比等等。Gamma Express還配備了幾個先進的安全功能，如粒子探測器、真空監測器和汙染監測器，以確保工作環境安全。功率設置、氣流、排氣壓力等工藝參數在運行過程中均可實時監控。在尺寸方面，NOVELLUS Gamma Express相當緊湊，尺寸只有540毫米寬，515毫米深。這使其適合於中型至大型半導體加工作業。Gamma Express也很經濟，其競爭價格使得它成為許多微加工工藝的熱門選擇。總體而言，NOVELLUS Gamma Express是一款先進的半導體微加工蝕刻器/asher，擁有出色的工藝控制能力。其卓越的精度、均勻性和安全性措施使其成為半導體加工應用的理想選擇。
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