二手 NOVELLUS Gamma Express #9314670 待售

NOVELLUS Gamma Express是為生產和開發提高產量而設計的蝕刻和灰化設備。它能夠在單個系統中進行幹蝕刻、濕蝕刻、灰化和碘剝離。Gamma Express平臺提供等離子體兼容性，結合高精度對準技術以及快速循環和基板鑒定時間。NOVELLUS Gamma Express旨在提供高質量、可重復的蝕刻工藝,並具有高吞吐量。為實現這一目標，它采用了先進的光學對準裝置，能夠對各種基材進行精密光學成像，包括矽、砷、氧化矽。這樣可以快速準確地蝕刻小尺寸的特征,並確保在整個蝕刻過程中保持一致的成像機。蝕刻過程使用高壓射頻電源提供的射頻（RF）電源進行。這種射頻功率用於產生等離子體氣體，然後根據基板位置、材料和蝕刻參數將其定向通過蝕刻室。這一過程確保了均勻的蝕刻環境和高水平的介電隔離。Gamma Express還能夠對需要更高級別去除率和選擇性的應用程序進行濕蝕刻。這一濕蝕刻工藝利用液體蝕刻劑，如XeF2，結合優化的射頻模式，確保精密蝕刻。此濕蝕刻工藝可用於高長寬比特征,例如：溝槽、通孔和接觸孔。除了蝕刻和濕蝕刻，NOVELLUS Gamma Express還能進行灰化和碘剝離。灰化過程利用氧基氣體從晶圓表面去除殘留的感光有機層材料。另一方面，碘剝離利用含氯氣體去除光刻過程中未完全開發的光致抗蝕劑。總體而言,Gamma Express是一款高度先進的工具,可提供精確的成像、高吞吐量、與多個基板的兼容性以及快速的循環和基板鑒定時間。它是一種可靠的蝕刻和灰化資產，旨在最大程度地提高生產和開發應用的產量。