二手 NOVELLUS Vector Express AHMxT #9213313 待售

NOVELLUS Vector Express AHMxT是一種雙室蝕刻/asher設備，專為淺溝隔離（STI）等先進半導體應用而設計。它提供了一種高效且經濟實惠的方法來蝕刻/灰化高達150 nm的特征尺寸的電線。Vector Express AHMxT具有兩個獨立控制的模塊，允許並發蝕刻和asher過程，以及一個易於訪問的用於維護和清潔的腔室。NOVELLUS Vector Express AHMxT的蝕刻室配備了高通量、多頻等離子體發生器，可處理特征尺寸在5到150 nm之間的材料層。ALD/CVD類工藝也可以在腔室裝有選定前體時進行。利用智能控制邏輯，蝕刻室能夠以非常高效和經濟高效的方式實現非常高的蝕刻速率。Vector Express AHMxT的asher室利用源質譜儀提供了對工藝氣體和基板溫度的精確測量，以及改進的氣體混合能力。Asher能夠在非常精確的控制下處理高達150 nm的特征尺寸的材料。該系統還配備了晶片級裝載機，便於在STI和大馬士革加工等應用中進行基板裝卸。NOVELLUS Vector Express AHMxT的常見應用包括：淺溝隔離（STI）、淺溝隔離（STI）、接觸孔、閘溝、垂直和水平互連以及大馬士革加工。該裝置能夠產生很高的蝕刻速率和優良的表面均勻性和清潔度。此外,Vector Express AHMxT還提供出色的擺動和可重復性,從而實現高產率和一致的設備特性。總體而言,NOVELLUS Vector Express AHMxT為半導體制造商提供了用於高級設備制造和處理應用的高性能蝕刻/粉碎機。其雙室設計允許並行蝕刻和灰化，其先進的等離子體發生器和源質譜儀提供精確的控制和出色的重復性。由於其高吞吐量和高效的處理,該工具還可以節省成本。