二手 NOVELLUS Vector Express #9125995 待售
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已售出
ID: 9125995
PECVD Systems, 12"
Process: AHM
PECVD (Chemical Vapor Deposition)
Currently in fab
Configuration selections:
Silane Oxide-USG (standard)
Silicon nitride-SiN (standard)
Anti-reflective layer - Pearl
Nitrogen free anti-reflective layer -N- free pearl
Ashable hardmask
Facilities configuration:
Bottom (default)
Remote interconnect cable lengths:
75ft (Default)
Primary user interface location:
Right (default)
Options:
Factory automation communication
Interface (AGV or OHT interface)
Clean room installation kit
High speed spindle
Heated process module manometer
Leak-check shutoff valve for process module
Vector gas box options
(3) Additional gas lines per gas box:
O2 Gas line
CO2 Gas line
C2H2
Customer engineering specials and/or additional items:
CES 4-Light towers (CESCVD04321A)
CES IMM Readiness for 2 FOUP
CES gas box special GIB (CESCVD04339A)
CES gas box safety exhaust Enclos(CESCVD04357)
RF Switch plasma treatment hardware
Hermos ID reader 6M loader (CESCVD04325A)
2005 vintage.
NOVELLUS Vector Express是一款高性能蝕刻和asher設備，可以處理廣泛的層棧，包括許多用於先進芯片技術的新材料。該系統基於雙區域體系結構,具有兩個獨立的處理區域,用於蝕刻和asher操作。雙區域體系結構可通過單個單元實現高吞吐量和靈活性,同時提供多種流程選項和功能。Vector Express一次最多可以加工四個基板，為大批量制造提供了高效可靠的平臺。該機的高精度模具可以精確控制蝕刻和灰化操作，同時最大限度地減少缺陷，提高產量。NOVELLUS Vector Express具有高密度等離子體源，提供出色的均勻性和業界領先的蝕刻速率。該工具可為關鍵布局特征實現非常低的CD均勻性和線寬粗糙度規格，使其可用於多種過程，包括高精度的殺鹽劑圖案。資產還包括先進的蝕刻工藝控制功能，如實時多區域真空反饋、改進的多點蝕刻速率控制、集成視覺等。這些功能可以精確控制產品尺寸和組成要求。Vector Express還具有等離子體腔的嚴密溫度控制功能，使其能夠處理具有極小或狹窄臨界尺寸特征的溫度敏感材料。此外，對於各種材料或工藝參數，可以根據需要加熱或冷卻等離子體腔。NOVELLUS Vector Express是需要高吞吐量和靈活性的蝕刻和asher應用程序的理想選擇。它可以處理各種層棧和特征大小，具有嚴格的尺寸控制和出色的工藝均勻性。集成的高級過程控制和視覺系統提供了卓越的產品質量,使Vector Express成為大容量蝕刻和asher應用的理想選擇。
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