二手 NOVELLUS Vector Express #9203793 待售

NOVELLUS Vector Express是一款高速蝕刻和灰化設備，設計用於半導體器件制造的高級工藝靈活性和性能。它結合了多種專有技術，使得能夠在單個處理室中創建廣泛的集成電路（IC）。該系統提供卓越的吞吐量率、控制的擁有成本和最佳的空間效率。Vector Express擁有創新的、獨立的設計,能夠以最小的工作量和操作中斷來安裝和設置Vector Express。NOVELLUS Vector Express用於各種蝕刻和灰化工藝。根據應用程序的復雜性,設備可以在多步處理中蝕刻設備的單層或多層。也可用於各種晶圓清洗和回填任務。該機設計有兩個主要部件：主加工室和熱傳遞室。後者是一種微型爐，用於產生用於蝕刻、灰化和退火過程的自由基。為了確保最大生產力,Vector Express采用了先進的滾子快門,可以在不中斷處理周期的情況下快速加載和卸載晶片。處理器還具有直觀的用戶界面,具有方便的觸摸屏訪問功能和參數。該工具最多可存儲8種配方，允許在流程之間快速、方便地切換。還集成了一個常用氣體組合物庫，允許用戶快速訪問常用氣體混合物。NOVELLUS Vector Express配備了電阻和感應等離子體源，使資產實現高精度和高通量的蝕刻和灰化。它還使用低頻等離子體來減少粒子生成，同時確保特殊的蝕刻均勻性。該模型的強健設計與各種工藝氣體配合使用,以實現與現有生產線的最佳集成。最後,Vector Express提供了出色的過程監控,允許實時調整和優化處理條件。綜上所述,NOVELLUS Vector Express是一款高級蝕刻器和asher,可提供卓越的吞吐量速率、高效的空間消耗、出色的控制功能和直觀的用戶界面。它具有強大和創新的設計,是希望最大限度地提高生產能力的芯片制造商的理想選擇。