二手 NOVELLUS Vector Express #9203794 待售

NOVELLUS Vector Express是一款創新的高端蝕刻設備，設計用於高容量半導體和集成電路行業的經濟高效且節省時間的生產。利用Vector Process Control, Vector Express系統圍繞經過驗證的NOVELLUS平臺構建,為各種蝕刻應用程序提供快速一致的結果。NOVELLUS Vector Express以每小時6,000個晶圓的速度運行,能夠以高可重復性和精確度刻蝕不到1微米的復雜特性。Vector Express專為絕對均勻性而設計,與手動蝕刻系統相比,允許更大的過程控制,並允許制造工程師快速建立高效的蝕刻過程。該綜合單元配有一個標準工藝模塊（SPM），該模塊能夠控制和整合多達四個腔室，以及一個集群模塊重復（CMR），帶有額外的腔室和工藝控制。NOVELLUS Vector Express機器占地面積很小,非常適合用於緊湊、自動化的制造機箱,而其集成的功能集和可擴展性確保了在一系列應用程序中的高速性能。該蝕刻器提供了對偏置、電壓、壓力和溫度的閉環控制,允許精確和受控的蝕刻參數,從而確保更詳細、誤差最小化。Vector Express專為光子活化蝕刻（PAE）而設計，該工藝使用專門的激光脈沖以比傳統蝕刻工藝更高的精度和分辨率蝕刻材料。它還包括用於遠程和無人值守操作的專用模式老化閥（PAV）技術,允許自動啟動和關閉,而無需操作員幹預。總體而言,NOVELLUS Vector Express專為實現最佳蝕刻性能而設計,集成了硬件支持,可實現卓越的工藝控制。與業界目前提供的許多其他蝕刻系統相比,Vector Express提供了更快的處理率,同時為批量生產工作提供了卓越的性能和成本節約。