二手 NOVELLUS Vector Express #9210888 待售
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已售出
ID: 9210888
優質的: 2007
PECVD System
Vector processes: Advanced ashable hard mask
Facilities: Bottom
Interconnect cable length: 75 Feet
Primary user interface: Flat panel right
Load lock pump: Express load lock pump
Atmospheric robot: Friction end effector
Mounting for light tower:
Audio buzzer
Wall / Flush mount
System options:
Signal tower: 4 Color light tower (RYGB)
IMM Readiness: Over left load lock
Third FOUP Option
(3) Foup RF ID reader
FA Communication interface
Advanced AHM deposition kit
EBR Capable load lock
Pressure display package
Heated process manometer
Leak check shut off valve
2007 vintage.
NOVELLUS Vector Express是一款最先進的蝕刻器/asher,旨在為半導體器件制造中的蝕刻和灰化提供最佳質量和性能。它采用先進技術開發,能夠以更高的效率和更低的處理成本制造出質量更好的芯片。這使其成為希望通過提高成本效率提高產量的制造商的理想工具。Vector Express構建在一個高級平臺上,該平臺為各種材料提供了卓越的蝕刻/灰化方法。它利用具有預定的蝕刻/灰化速率的激光束,可以精確控制蝕刻/灰化過程。NOVELLUS Vector Express還擁有先進的過程控制設備,可幫助優化結果並確保跨蝕刻/灰燼的質量一致。此外,系統可以運行多達九種不同的加工配方,提供為各種材料創建可定制模式的靈活性。除了最大限度地提高蝕刻/灰化工藝的準確性外,Vector Express還提供了許多其他功能,使其成為市場上最先進的解決方案之一。這包括一個低溫灰化裝置,它可以降低材料損壞的風險,同時仍能獲得所需的蝕刻結果,以及一個有助於減少非均勻圖像偽影的精密清潔和對齊機器。NOVELLUS Vector Express通過使用先進的低噪聲負載鎖定工具改進晶圓處理,進一步提高了其本已優越的性能。Vector Express還配備了直觀的用戶界面和廣泛的安全功能。這包括在流程異常時自動關閉,以及警報通知和蝕刻參數監控。所有這些功能結合在一起,使NOVELLUS Vector Express成為功能強大且可靠的蝕刻/灰化資產。憑借其先進的技術和全面的功能,Vector Express非常適合在一系列半導體器件制造材料上提供卓越的蝕刻/灰化性能。
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