二手 NOVELLUS Vector Sola #293641465 待售

NOVELLUS Vector Sola是一種蝕刻器/asher設備，用於蝕刻和粉刷各層半導體器件。該系統采用多束激光器，單步精確結合蝕刻和灰化，允許快速原型制作和半導體生產。該單元以數字光處理（DLP）投影機為基礎，結合了多個鏡頭和鏡子，將激光聚焦並引導至處理區域。DLP模塊具有高級空間光調制器（SLM），波長為260 nm，可處理小至35nm的特征大小。這是當前任何一代蝕刻器/灰燼的最高分辨率。Vector Sola還具有高生產率蝕刻（HPE）模式,與市場上的其他系統相比,該模式可將處理速度提高三倍。其他獨特的功能包括JetEtch技術，它提供脈沖等離子體蝕刻與連續像素之間的時間間隔很小。這使得快速蝕刻深或寬的溝渠成為可能。該工具還具有其他一些優點，如保護基板免受氣流波動的Argon等離子體保護（APP）、提高激光能量和功率穩定性的自我優化準分子激光器（SEL）以及提高工藝精度的先進掃描級運動技術。NOVELLUS Vector Sola配備了用戶友好的圖形用戶界面（GUI），用於控制操作和功能，以及可配置的參數，用於最佳蝕刻和灰化。該界面還使用戶能夠查看蝕刻和ashing進度,這對於精確的過程控制非常重要。此外,Vector Sola還針對成本效益進行了優化,可以精確執行濕式清潔、灰前蝕刻和跳過蝕刻等蝕刻後清理操作。資產的緊湊尺寸有助於降低模型成本,並允許半導體生產操作實現自動化,如自動壓印、自動旅行和自動傳輸。NOVELLUS Vector Sola是需要精確控制、高分辨率和高通量的多束激光蝕刻和灰化的應用的理想選擇。它是一種高度通用的設備,具有一系列可配置的參數,可以輕松定制以滿足各種生產過程的需求。