二手 NOVELLUS Vector Sola #9285851 待售

NOVELLUS Vector Sola是一款高級蝕刻器/asher，旨在啟用高級計量和高級工藝模塊，用於高精度蝕刻、灰化和氣相沈積（PVD）應用。Vector Sola為高級流程應用程序提供了高速、高精度和經濟高效的解決方案,為客戶提供了滿足其陣列和沈積需求的最佳解決方案。NOVELLUS Vector Sola配備了用戶友好界面的16英寸顯示器、I- LID™沈積設備和QuikLoad™晶片處理系統，以實現沈積和蝕刻過程中的卓越工藝控制。此外,Vector Sola還提供高精度放置單元,包括高級軟件算法,用於精確高效的晶圓裝卸。NOVELLUS Vector Sola利用蝕刻、灰化和沈積系統的最新技術提供卓越的性能。它配備了先進的RF/gamma光源，具有卓越的蝕刻性能，專用的1150°C石英管爐用於灰化應用，以及獨特的QuikLoad ™晶圓加工機用於過程控制。此外,Vector Sola還利用了一種專有的氣體輸送工具,該工具能夠精確控制反應性氣體的流動,以實現快速熱處理。NOVELLUS Vector Sola還包括各種先進的探測器和計量組件，以便能夠在整個蝕刻、灰化和沈積過程中進行精確的分析。QuickScans™反射計和QuikGuage™計量資產等多種光學探測器提供了精確的分析。此外,還提供了一個專門的淬火階段,以提高均勻性、效率和準確性。Vector Sola還具有可配置的氣體輸送控制功能,並配有精確的質量流量控制器,旨在提供準確且可重復的流量。該模型提供高壓隧道和定向氣體輸送，為所需的薄膜或層提供了精確的破壞。總體而言,NOVELLUS Vector Sola是一款具有先進技術、精密計量和過程控制系統的高性能蝕刻器/asher,可為客戶提供蝕刻、粉刷和沈積應用的最佳選擇。