二手 NOVELLUS Vector #167888 待售

NOVELLUS Vector是為電子工業設計的蝕刻/灰燼設備。它能夠處理廣泛的材料，包括鋁、銅、鈦等常見材料和低k介電材料等復雜介電。矢量是一種基於等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）的機器，這意味著它使用反應性氣體的高溫離子將介電層和金屬層沈積到基板上。當底物相對於離子源移動時，這個過程被重復，導致金屬和介電沈積的復雜模式，具有精確的地形。NOVELLUS Vector能夠在金屬和200微米的非金屬材料中蝕刻到500-Micrometers深。它在玻璃真空室中具有獨特的特點，提供了卓越的均勻性、均勻的蝕刻深度和出色的加工速率。Vector具有軟件增強的電弧處理功能,可改進過程控制和可重復性,以及由圖形用戶界面控制的自動化工具。該軟件允許調整特定應用程序的壓力和溫度，並且有預定義的蝕刻過程可以設置和調用常規作業。NOVELLUS Vector還具有快速關閉蝕刻過程的氣體關閉閥，以及降低微蝕刻和圖案變形的低振動環境。這樣可以提高蝕刻速率、均勻性和準確性。Vector結合了一個多離子源和一個機器人基板處理程序，允許它一次處理多達3個基板。它還具有多室功能，允許用戶在不同的真空室中蝕刻和粉刷。NOVELLUS Vector能夠處理多種基材，包括晶圓、金屬和玻璃。矢量還包括晶圓平坦度控制和外國粒子檢驗系統，該系統在必要時識別外來顆粒並拒絕加工過的基板，從而確保用戶獲得最高產量環境。NOVELLUS Vector的溫度控制區和過程氣體管理提供了穩定的等離子體環境和優異的蝕刻/灰燼特性。額外的化學浴也可以用於額外的蝕刻和灰分操作。Vector是為電子行業設計的高級蝕刻/灰分單元,為用戶提供了廣泛的功能,這些功能旨在為各種材料提供卓越的工藝控制和可重復性。其多腔室能力、軟件增強的電弧控制以及國外的粒子檢測機，為用戶提供了一個強大可靠的工具來滿足他們的蝕刻/灰燼需求。