二手 NOVELLUS Vector #9149328 待售

NOVELLUS Vector是專為滿足當今半導體市場苛刻需求而設計的高性能蝕刻器/asher。它提供各種不同的型號,可配置為適合任何大小和類型的芯片或主板。它使用最新的技術來實現快速循環時間、高產量、一致的蝕刻輪廓以及跨大基板的均勻性。矢量蝕刻器設計用於許多基板的精密蝕刻和灰化，包括銅、鋁、氧化矽、鋼、鎳和鋁。該系統具有很高的蝕刻速率和均勻性，特別適合於要求高精度和可重復性或精細特征定義的應用。NOVELLUS Vector蝕刻器使用反應性離子蝕刻（RIE）和等離子體增強化學蝕刻（PECE）的組合來實現高通量。一種最先進的等離子體源被用來電離提供給腔室的反應氣體，而PECE技術則增加了蝕刻器的操作靈活性。這些結合起來提供了高質量的過程結果並減少了處理時間，使得Vector蝕刻器成為同類產品中最快的一個。就其可用參數範圍和系統可配置性而言，NOVELLUS Vector蝕刻器很難被擊敗。它提供了高溫和低溫處理,以及在蝕刻時間和其他控制參數方面的過程靈活性,為用戶提供了針對其特定應用優化過程的控制。此外,Vector蝕刻器還具有高級工藝控制功能,因此用戶可以準確監控基板蝕刻和蝕刻速率。NOVELLUS Vector蝕刻器通過結合其專有的「OptiVect」蝕刻工藝實現了卓越的可重復性和特征定義。計算機控制的射頻（RF）電源提供了對多頻率範圍的精確和通用的控制,從而實現了盡可能高的過程均勻性。總之,Vector蝕刻器提供了業界最佳的性能標準。NOVELLUS Vector蝕刻器利用尖端技術和強大的過程控制功能,將快速處理時間與出色的特征定義和一致性結合在一起。對於任何需要精確和統一的過程,它們都是理想的選擇。