二手 NOVELLUS Vector #9167159 待售

NOVELLUS Vector是一款高精度的蝕刻器/asher，專為精密蝕刻、灰化和材料表面去除應用而設計。Vector將兩個設備平臺結合在一個工具中-一個蝕刻設備和一個灰化系統-允許用戶處理材料,如Si、GaAs、石英和玻璃,並獲得單步結果。NOVELLUS Vector還利用了先進的蝕刻技術，提供了更高的精度和控制水平。矢量非常適合具有高長寬比、緊密公差模式可重復性和高蝕刻選擇性的蝕刻輪廓。它可以處理多種晶圓尺寸，包括4"、6"和8"。NOVELLUS Vector還具有使其非常適合先進的圖樣化應用的功能，如微加工、微加工、集成電路制造以及金屬和電介質的沈積/蝕刻。Vector使用DirectedCathodne Beam技術（DCB）確保高蝕刻速率和最佳材料選擇性。DCB技術還確保了精確、統一和高度可重復的模式配置文件。NOVELLUS Vector用戶可以調整其蝕刻工藝參數和工藝流程，以產生與其他蝕刻組件協同工作的統一特征。Vector配備了幾種安全特性，如含有和隔離腐蝕性和危險材料的屏蔽化學輸送裝置，以及介電和金屬蝕刻材料的安全環境。機器還裝有激光冷卻工具，用於保護工藝室和晶片。NOVELLUS Vector是蝕刻應用的理想工具,具有先進的控制、可重復性和精確度。它非常可靠,需要最少的維護,並產生一致的過程結果。其可靠的過程穩定性可提高吞吐量和成本節約。Vector還提供了靈活性和可用性的獨特融合,允許用戶優化其流程參數和流程以滿足其需求。