二手 NOVELLUS Vector #9195888 待售

NOVELLUS Vector是一種高精度的蝕刻器/asher，專為半導體材料的晶圓級處理而設計。它是一種高度先進的設備，可以同時用於等離子體和熱蝕刻過程。Vector能夠在薄膜上產生非常小、形狀精確的圖樣,但也提供靈活的可擴展性和吞吐量。它為等離子體蝕刻和灰化過程提供了一個靈活的平臺。NOVELLUS Vector先進的硬件、軟件和光學技術有助於提供高性能的灰泥、蝕刻和清潔。其薄膜Ashing Module （TFAM）是一種真空室，專為需要高分辨率、低能量、低溫Ashing等特殊特性的特定應用而設計。Vector的Mainframe Chamber提供堅固耐用的熱蝕刻工藝,具有最大的靈活性。NOVELLUS Vector的高分辨率Mask Alignment系統允許在腔內精確放置產品和口罩。Vector還提供了蝕刻和asher過程的高級自動化。它通過自動檢測腔室條件、產品特性和工藝參數提供了內置的可重復性。NOVELLUS Vector的軟件包括功能強大的圖形用戶界面（GUI），它為遠程操作、數據采集和診斷提供了一個易於使用的平臺。Vector的多盒式加載單元擴展了吞吐量功能並降低了運營成本。其真空管理機（VMS）有助於控制顆粒水平，為蝕刻/灰化過程提供更高的性能。此外,NOVELLUS Vector還具有直觀且用戶友好的增強負載鎖定工具,可減少晶圓損壞。Vector的等離子體蝕刻和asher選項提供一致的高性能和低循環時間。此外，NOVELLUS Vector通過其低能源確保環境友好的加工氣氛。總體而言,Vector是一款用途非常廣泛的蝕刻/粉碎機,具有高精度的功能、出色的可擴展性和高吞吐量,可用於要求苛刻的晶圓級流程。