二手 NOVELLUS Vector #9262780 待售

NOVELLUS Vector是一款蝕刻器/asher，設計用於生產具有出色特性尺寸、深度和均勻性的半導體器件。它特別適合生產超細間距產品,如DRAM後端互連、Contact/via陣列、PWB和翻轉芯片基板。Vector是一種高通量設備,具有精確的掩碼放置功能。它圍繞高性能掃描表和高級ICP蝕刻源構建。此設置允許精確調整蝕刻過程,從而獲得非常高的質量結果。還包括一系列先進的成像和計量工具，以實現無損過程控制。NOVELLUS Vector的擴展工作包絡確保所有大小和幾何形狀的特征都能被高精度蝕刻。Vector在蝕刻前使用柔性PECVD/OCD氧化物塗層。這種塗層提供了優越的缺陷控制，使工藝產量最大化，同時確保即使是最具挑戰性的基板上的良好保形性。NOVELLUS Vector在通過雙層特征和盲孔的刻蝕方面也非常高效。該系統能夠以卓越的深度均勻性和細線分辨率刻蝕孔、觸點和其他特征類型。Vector先進的工藝控制確保了良好的可重復性和低排泄率。系統的高級過程監控能力大大縮短了周期時間，確保蝕刻過程保持在精確的規格。這導致產量提高和廢品率降至最低。該裝置還具有先進的缺陷監測和控制能力，使其比傳統蝕刻器具有更好的缺陷檢測能力。總而言之,NOVELLUS Vector是一款具有卓越工藝控制功能的卓越蝕刻器/asher。該機器有助於大幅縮短循環時間,並且可以輕松蝕刻具有一致深度估計和最小邊緣粗糙度的超細間距產品。其先進的成像和計量工具確保以極低的廢品率生產質量最高的產品。