二手 NOVELLUS Vector #9294444 待售

NOVELLUS Vector是業界領先的蝕刻器/asher，用於化學機械拋光，或CMP。它持續產生高質量的結果，並為各種蝕刻和CMP工藝而設計。Vector使用硬件和軟件的獨特組合,在多種材料中始終提供高蝕刻速率、化學選擇性和表面平面化。NOVELLUS Vector是一款用途廣泛的蝕刻器/asher，旨在實現蝕刻和化學機械平面化（CMP）工藝的自動化。它是一個模塊化系統，可以根據用戶的需求定制，設計用於先進的半導體制造。Vector具有許多高級設計和蝕刻組件,可確保精度和控制。NOVELLUS Vector利用PECVD（等離子體增強型化學氣相沈積）將SiO2、氮化物等相關膜沈積到所選擇的基板上。此沈積過程之後是RIE（反應性離子蝕刻）和CMP（化學機械拋光）技術來完成蝕刻和平面化過程。Vector能夠對厚達500 nm的材料進行蝕刻和平面化,並具有集成的等離子體源以及蝕刻技術的最新進展。NOVELLUS Vector還具有獨特的軟件界面,可以精確控制過程參數以及完全自動化蝕刻過程。這使得用戶可以輕松調整設置並創建自定義的蝕刻作業,同時讓您放心,無論調整參數多少次,他們的蝕刻結果都將保持一致。此軟件以用戶友好的語言構建,包括教程和在線支持。除了Vector背後的技術外，它還擁有精密的腔室設計和制造，提供了最高水平的可靠性和性能。腔室組件的設計既考慮了CMP工藝，也考慮了蝕刻工藝，有助於確保整個蝕刻和平面化工藝的準確性和精確度。總體而言,NOVELLUS Vector是業界領先的蝕刻器/asher,旨在提供最高質量、一致精確的結果。它具有先進的硬件和軟件技術，以及全面的腔室設計和制造，以確保可靠性和性能。矢量非常適合任何規模的行業,是您所有蝕刻和平面化需求的理想選擇。