二手 NOVELLUS Vector #9379236 待售

NOVELLUS Vector是NOVELLUS Systems開發的一種高度精確的蝕刻器/asher,用於各種材料的蝕刻和灰化。Vector能夠在亞微米級（亞於5nm）進行精密蝕刻和灰化。它采用了NOVELLUS專利掃描電子束（SEB）技術，提供了一個非常精確聚焦的電子束，這是高質量、細線蝕刻和灰化所必需的，這對於生產復雜、細間距的芯片至關重要。NOVELLUS Vector還具有單晶片負載鎖、內部散熱器和外部熱卡盤，用於精確的熱控制。晶圓加載在Vector的負載鎖室中，光束聚焦在其表面。憑借其高度精確的掃描模式和超高速脈沖速率,NOVELLUS Vector能夠比大多數競爭解決方案更快地蝕刻和灰化,同時始終實現最高的分辨率和質量。此外，Vector的SEB使用戶能夠以高精度和均勻性將蝕刻材料應用到晶片上。NOVELLUS Vector還與其他NOVELLUS系統無縫配合，允許高度的過程自動化和集成。除Vector外，公司還提供Ares Fast Copper Damascene Solutions、Evolution介電蝕刻系統、Production Eversharp 蝕刻/ashing系統。這些選項為各種類型的材料提供了一系列蝕刻/灰化技術。