二手 NSC ES 371 #9144811 待售

NSC ES 371是一種用於半導體制造的蝕刻器/asher設備。它利用等離子體蝕刻技術在各種基板上快速準確地創建高精度圖樣。該系統具有真空電子束,可處理平面和3D格式的150 mm底物。它具有很高的均勻性和高產率，可以精確的蝕刻結果。ES 371采用模塊化設計,便於維護和升級。它提供了一系列的工藝方法，包括RIE（反應性離子蝕刻）、ICP（感應耦合等離子體）和IBI（離子束誘導）。這些實施可增強對各種溫度和氣體混合物的過程控制。該單元內置的自動調諧和反饋機器允許超精確的過程調諧和控制，有助於最大程度地提高蝕刻效率。此工具的工作溫度範圍靈活,標準工作溫度從環境溫度到300 °C不等。這個溫度可以調整，以適應各種類型的基板。此外，還可以在NSC ES 371上進行不同類型的升華，使其成為多種蝕刻應用的理想平臺。ES 371配備了多種安全功能,旨在保護用戶和資產本身。這包括一個過載保護功能，它連續監測模型的異常電流和電壓水平。此外，該設備還設計了一個漏水檢測系統，可以檢測設備內的漏水情況，以便及時進行維修和保養。總體而言,NSC ES 371是一種多功能的蝕刻/灰化機,能夠滿足高度精確的應用程序的需求。其溫度和過程控制功能,加上強大的安全功能,使其成為半導體及相關行業應用的理想選擇。