二手 OCCLEPPO 650-06-P-25 #9003041 待售

OCCLEPPO 650-06-P-25是為半導體晶片的精密蝕刻和灰化而設計的高性能蝕刻和灰化設備。利用高真空直流磁控管濺射惰性氣體650-06-P-25蝕刻和灰燼晶片。這一過程允許以受控和統一的方式精確沈積材料。OCCLEPPO 650-06-P-25有一個能夠蝕刻和粉刷直徑達150毫米晶圓的加工室。該工藝室配有自動卡帶至卡帶傳輸、內置電腦化控制以及雙向高真空閘閥。直流磁控管濺射系統包括三個獨立電源共六個陰極，共八個濺射源。該工藝室由一系列工藝和溫度控制器控制。650-06-P-25具有多種內置安全功能,包括自動氣體強度控制單元、具有大氣凈化功能的低壓工藝室、電離氣體等離子體清潔系統和自動室內清潔循環。OCCLEPPO 650-06-P-25的構建是為了滿足占地面積小、操作成本低以及高性能蝕刻和灰化的要求。650-06-P-25是一個先進的蝕刻和灰化機具有廣泛的處理能力。適用於廣泛的材料和工藝，包括矽、鋁、金、金剛石薄膜的蝕刻和灰化，以及各種光致抗蝕劑工藝。它也適用於包括MEMS結構、3 D曲面和納米制造結構在內的復雜幾何形狀的蝕刻和粉刷。OCCLEPPO 650-06-P-25能夠實現高精度沈積,特征尺寸小至10 nm。650-06-P-25具有高精度直流磁控管濺射、高過程均勻性和可重復可靠的結果，非常適合要求苛刻的微加工工藝。OCCLEPPO 650-06-P-25也有一個易於使用的軟件接口，並且CE認證在歐盟使用。