二手 OCCLEPPO 650-97-P-150 #193947 待售

OCCLEPPO 650-97-P-150是為各種半導體的蝕刻和灰化過程而設計的批量型蝕刻器/灰化器。它由雙壁不銹鋼結構組成，該結構采用了幾種先進的特點，為微光刻應用提供了可重復和嚴格的工藝。它的底座設計為提供低壓、均勻的溫度和均勻的氣流，而其腔壁則裝有一次加熱器和二次加熱器以及高速燃燒器。這樣可以對加熱的材料進行精確的工藝控制。此外，650-97-P-150設計有一個高能見度石英窗口，用於過程監測。該設備與一套全面的閥門、流量控制器和氣體混合工具集成在一起，便於過程設置和控制。它寬大、可編程的觸摸屏可以方便地設置和控制所有氣流、溫度和時間。內置的自動調諧和數據記錄功能使過程監視和控制變得非常精確。此外，OCCLEPPO 650-97-P-150系統提供了一個高精度的替代手動閥門單元，其中包括一個兩彎管泵和一個壓力調節器。這使得調節氣體流動和壓力變得更加容易，以實現更精確的過程。此外650-97-P-150還具有安全功能,可在過程中保護操作員和環境。它包括一個雙真空機和空氣過濾工具，用於過程保護，以確保沒有氣體或化學物質逃離資產。其他安全和過程控制特性包括鹵碳泄漏檢測器、工藝氣體凈化模型、空氣過濾設備。總體而言，OCCLEPPO 650-97-P-150是一種先進的蝕刻器/粉碎器，旨在滿足工藝精度和安全性的最高標準。它設計用於廣泛的半導體基板，並具有全面的過程控制和系統管理功能。Etcher/Asher是超高精度工藝的理想選擇。