二手 OCCLEPPO 650-97-P-150 #9003042 待售

OCCLEPPO 650-97-P-150 蝕刻器/asher是先進晶圓加工應用的理想選擇。這臺機器具有很高的過程重復性和長期可靠性。其兩級溫控設備確保了良好的工藝溫度穩定性，這對於實現高產至關重要。650-97-P-150 蝕刻器/asher具有寬敞的300微升工藝室,可直接蝕刻和粉刷直徑可達150毫米的晶片。腔室配有一個25位旋轉端效應器，在蝕刻和灰化過程中牢固、準確地固定和運輸晶片。它還具有可變壓力處理（VPP）系統,可確保更高的蝕刻和灰分速率,而不會影響晶圓的完整性。OCCLEPPO 650-97-P-150 蝕刻器/asher有一個內置的粒子過濾單元，以盡量減少晶圓汙染。它具有集成的液氣噴射器和先進的雙溫控制系統，以增加工藝靈活性。它還具有一個感應加熱機，以確保均勻晶圓加熱，以及一個過程監測工具與模擬和數字I/O的過程跟蹤。為了增加安全性和便利性,650-97-P-150蝕刻器/灰化器包括安全互鎖、泄漏和超壓鎖定電路、隔離排氣孔和集成的滅火資產。OCCLEPPO還配備了一個10步觸摸屏控制器，便於過程設置，所有基本參數都在液晶顯示屏上清晰監控。OCCLEPPO 650-97-P-150蝕刻器/灰化器與多源氣體兼容，可以很容易地針對不同氣體進行校準。它有一個緊湊的設計，使得它完美的集成到一個處理生產線。OCCLEPPO具有卓越的構建質量和可靠的性能,是高效、精確晶圓處理應用的絕佳選擇。