二手 OPTIGLOW ACE #9149592 待售

OPTIGLOW ACE
ID: 9149592
Plasma system.
OPTIGLOW ACE化學蝕刻器/asher是一種先進、高效的工具,用於處理晶圓和其他各種應用中的基材。它具有獨特的使用準分子或汞-氙激光器將圖樣化的熔融二氧化矽或石英轉移到晶圓和其他基板上的能力。它配備了一個6軸運動控制器,以確保高速和高效的精確和精確的蝕刻模式。ACE設計用於需要更高的吞吐量、改進的均勻性和/或精確陣列的蝕刻和/或灰化過程。本機核心部件為電磁槽/罐。該罐能夠一次支撐數百個晶片,由烘烤的高品質鋼制成,以達到最大耐用性。該設備包括一個在晶片上提供實時成像的掃描儀,這有助於確保精確和準確的蝕刻和/或灰化過程。OPTIGLOW ACE能夠在包括IC、III-V組件、MEMS和晶圓級設備在內的各種材料上進行蝕刻和/或灰化。其靈活的設計允許它用於包括線條/面積、直線、環形、剖面、曲線、圓形和矩形在內的各種圖案形狀,以及包括光學玻璃、聚合物和玻璃在內的各種沈積/蝕刻材料。它還可用於離子註入、電離、光刻、物理氣相沈積(PVD)、金屬有機化學氣相沈積(MOCVD)、擴散、蝕刻、退火、灰化和光致抗蝕劑等多種工藝。ACE有內置的安全系統,以確保單元運行順利。可聽見的警報會指示任何異常的操作條件,在使用非危險材料時可以禁用。在發生任何意外情況時,該設備還提供自動緊急關閉功能。該單元與基於Labview的軟件兼容,可以集成到標準和遠程系統中。該機還配備了種類繁多的高級配件和功能,旨在提高機器的效率和能力。其中一些包括自動自監控工具、運動控制器和數據記錄功能。這些功能確保設備始終以最高性能運行,並能夠提供最高質量的結果。總體而言,OPTIGLOW ACE是一種先進且高效的工具,用於處理各種應用中的晶圓和其他基材。其獨特的能力和超高速處理,使其能夠以高精度和速度處理各種各樣的項目。其內置的安全系統保護用戶並保證安全高效的操作,而其先進的功能使其成為最先進、用途最廣泛的蝕刻/灰化機之一。
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