二手 OXFORD 133 ICP 380 #9375017 待售
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OXFORD 133 ICP 380是一種先進的、最先進的、幹蝕刻和粉刷設備,用於生產電路、口罩和光掩模。可用於微電子學、光子學、生物技術、微加工等廣泛的半導體應用。133 ICP 380采用了阻抗控制工藝(ICP),能夠實現更高的蝕刻速率、精度和精度,從而提高吞吐量和產量。多功能一體系統具有強大的蝕刻室、精密激光光學、高速機器人晶圓操控、鋒利的滾筒和刀具,以及精密定位定位的智能視覺單元。該機設計為可容納各種晶圓尺寸,可以很容易地適應不同的應用,包括MEMS、bioMEMS和nanoMEMS。它提供了對蝕刻和灰化過程的精確控制,包括蝕刻速率、層厚度、深度控制和表面光潔度。OXFORD 133 ICP 380具有先進的ICP冷卻工具,可實現產品的最佳產量和可重復性。此外,資產還配備了內置的化學凈化器,能夠穩定蝕刻速率和控制汙染物,從而產生優異的質量結果。此外,集成的計算機控制過程監控模型使實時數據采集能夠幫助最大限度地減少產品缺陷。133 ICP 380即使在要求最苛刻的應用中也能產生優異的效果。它提供了高精度、可重復性和一致性,能夠精確制造具有高可靠性和高質量的組件。此外,其直觀、用戶友好的界面簡化了各種蝕刻和灰化過程所需的設置和調整。OXFORD 133 ICP 380為當今先進的電子市場提供高產、高分辨率、低成本的解決方案。是微電子微器件大批量生產的理想設備,足跡小、成本低。此外,智能視覺系統允許可靠的定位和可重復的處理,從而產生高產和一致的質量。
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