二手 OXFORD 80 #9140533 待售

OXFORD 80是一款多級高速蝕刻器/asher，精確度和控制力極佳。是OXFORD Instruments制造的完整設備，設計用於生產和研究環境中半導體晶片的幹蝕刻和灰化。該系統的設計和特點使其成為先進薄膜蝕刻和灰化應用的理想選擇，其可變壓力和渦輪泵確保了可控蝕刻過程。它的先進設計使其能夠將化學品使用量限制在最低限度，這對成本和環境影響都是有益的。80有三個工藝室-蝕刻室、蝕刻室焦點和asher室-每個都有單獨的氣體和壓力控制。蝕刻室配有一個集成的壓力控制閥和壓力表，允許恒壓和脈沖壓力過程，以及在檢測到低壓時觸發的自動安全截斷單元。蝕刻室焦點還提供集成的壓力控制，允許低處理壓力和改進的控制蝕刻細膩結構時。Asher腔室配有渦輪泵和可變壓力閥，在使用多種化學方法時控制出色。OXFORD 80在工藝化學方面具有很高的兼容性，具有蝕刻和粉刷大量材料的能力。它的精確度和過程控制允許精確的重復性，可移動的供氣管線和可旋轉的排氣翼使其易於配置一系列蝕刻化學。該機器非常耐用,具有多種功能,可幫助其經受長時間的生產運行。它非常方便用戶,具有簡單的數字控制顯示屏,有助於將停機時間降至最低,並提供詳細的流程概述。綜上所述，80是半導體晶片幹蝕刻和灰化的絕佳選擇。它的精確度、耐用性和控制能力使其非常適合生產和研究環境,而且它的易用性和兼容性有助於最大限度地減少停機時間並最大限度地提高生產效率。