二手 OXFORD 80 #9153430 待售
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ID: 9153430
Reactive ion etcher
Open design
ACG 5xl RF Generator
Pressure controller: MKS 600 Series
2-Stage vacuum pump
Inbuilt control system
R3 Plasma cleaner
Lark sequencer
500 Generator
(2) Gas inputs
(2) Shelves: 12.75 x 12.75"
(4) MFC Gas control systems
Voltage: 208V
Available: Turbo pump, MFC controls.
OXFORD 80是一種先進的蝕刻和灰化機,設計用於實驗室。它能夠進行各種蝕刻和灰化應用,包括閘門、損壞結構、接觸孔、摻雜表面和氧化層。該機用途廣泛,適用於各種基材和材料。80 etcher/asher是全自動的,無論用戶的技能水平如何,都能提供一致的結果。它可以指定蝕刻/ashing任務的類型、蝕刻方向以及任務要重復的次數。機器的用戶界面非常直觀,允許精確控制蝕刻和灰化參數。OXFORD 80 蝕刻器/asher能夠在矽片層或其他微結構材料上執行蝕刻和灰化程序。它可以處理一層或多層,並支持低電壓偏置和多掩模對準等功能。此外,它利用無顆粒氣源盡量減少對基板的汙染或損害。80 etcher/asher非常可靠,具有高吞吐量的卓越工藝再現性。它配備了獨特的噴嘴設計,並結合了降噪功能,以盡量減少實驗室環境中的噪聲汙染。這臺機器的維護得到了簡化,提供了可視指示燈,提醒技術人員註意潛在的問題,以及用於故障排除的板載診斷程序。為了確保與它可以使用的各種基板的一致性,它還包含一個溫度監測系統,以確保每種基板類型的溫度根據所需的規格進行調節。OXFORD 80 蝕刻器/asher能夠用各種氣體蝕刻和灰化,以及可控的氣流和射頻功率水平。它還支持在不同溫度下的多個晶片,這使得它成為測試新材料或設備的合適工具。總體而言,80個蝕刻器/asher是一種高效可靠的機器,用於蝕刻和研磨任務。適用於種類繁多的基材和材料,具有高通量的精密加工能力。它提供了卓越的工藝再現性和直觀的用戶界面,使其成為任何實驗室的絕佳選擇。
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