二手 OXFORD 90 Plus #9060476 待售
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單擊可縮放
ID: 9060476
晶圓大小: 2"-8"
優質的: 1997
RIE System, 2"-8"
Load lock and main process chamber
(6) MFC (BCl3, Cl2, CH4, H2, Ar, O2)
PFEIFFER Turbo TPH330PC (on main chamber)
PFEIFFER Turbo TMH 260C (on load lock)
LEYBOLD Mechanical pumps
PC & Monitor
1997 vintage.
OXFORD 90 Plus是一款高級蝕刻器/asher,專為納米結構和直接寫蝕刻應用而設計。它旨在實現金屬和非金屬基板超精細蝕刻的極高精度和精確度。它配備了幾個獨特的功能,使其非常適合MEMS制造、微流體和高性能PCB等應用。90 Plus采用了最先進的脈沖發生器和數字電源控制單元,以確保高度精確和精確的蝕刻。它設計為以LID(激光誘導直接蝕刻)、OHE(光學輔助蝕刻)兩種常見模式運行,可用於蝕刻金屬以及非金屬材料如聚合物、半導體和電介質。與傳統的蝕刻技術相比,OHE模式提供了相當高的準確性和可重復性。OXFORD 90 Plus的核心是它的直寫激光蝕刻系統,利用UV激光器將圖樣直接蝕刻到基板上。激光的焦點很小,系統提供的精度低至1至3納米。這種精度水平非常適合在金屬和一些非金屬材料上創建納米級結構。90 Plus還配備了其他幾項功能,可提高其靈活性和用戶友好性。它提供模塊化設計、4軸掃描功能和內置晶圓處理系統,以提高吞吐量。它還具有完整的計算機控制功能,使用戶能夠快速輕松地創建自定義蝕刻模式並遠程管理流程設置。OXFORD 90 Plus在各種蝕刻應用中得到了廣泛的測試和驗證,使其成為各種微制造任務的可靠和通用的選擇。它具有高度精確的蝕刻和精確的晶圓處理功能,是微流體、MEMS和高性能PCB的理想選擇。它的模塊化設計和計算機控制能力使其適合高通量的生產過程,其激光聚焦的精密蝕刻使其成為納米級蝕刻應用的理想選擇。
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