二手 OXFORD ICP 100 #293655612 待售

OXFORD ICP 100
ID: 293655612
Reactive Ion Etcher (RIE).
OXFORD ICP 100是一種全自動、精密的蝕刻器/asher,設計用於生產高質量的微觀圖樣、電路板和其他平面微尺度結構。它最多可以用三種不同的氣體混合物和多達10種獨立的氣體成分進行蝕刻,從而可以精確控制蝕刻過程。軟件驅動的過程使用戶能夠設置各種參數,包括蝕刻速率、溫度、壓力和時間。該設備能夠高度精確地控制加工氣體的壓力和激光強度,從而能夠精確蝕刻微觀圖樣。ICP 100包括一個集成的計算機控制單元、一個氣動真空室和一個手動閥門控制單元。真空室配備了擴散泵、擋板和真空計,以確保即使是最小的特征尺寸的均勻蝕刻處理。內置的氣體壓力監測系統允許用戶精確設置氣體壓力。OXFORD ICP 100的蝕刻室用專門設計的爐膛加熱,該爐膛設計用於在加工過程中抵抗蝕刻磨損。主室溫度可調,最大限度地提高工藝均勻性和控制蝕刻速率。該單元還配備了蝕刻板,該蝕刻板經過設計,可承受蝕刻過程中出現的高溫和壓力。ICP 100中的激光源被設計為有助於機器提供高水平的控制和精確度。它使用兩種不同的波長-紫羅蘭色450nm和綠色532nm-來優化工藝均勻性並實現對蝕刻參數的細粒度控制。此外,激光由快門工具驅動,進一步確保了均勻蝕刻處理。總體而言,OXFORD ICP 100的激光源具有在精確的150 dpmm蝕刻圖樣上蝕刻的能力,且底切程度最小。ICP 100還包括功能強大的計算機接口。此用戶友好軟件允許用戶對所有必要的參數進行編程、監視和中繼到流程控制器。此外,資產還提供了一系列可以更改的參數和設置,包括蝕刻壓力、溫度和時間。軟件還提供了可編程抖動功能,可將蝕刻分辨率提高到200 dpi。OXFORD ICP 100適用於一系列的應用,包括生產微電子和電路板。它的精確度、速度和可重復性使得它成為在表面小至0.2毫米的基板上進行蝕刻的理想工具。ICP 100是精密蝕刻應用的理想選擇。
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