二手 OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus #293586570 待售
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ID: 293586570
Reactive Ion Etcher (RIE)
ALCATEL ACT-600T Turbo pump controller
Power: 208 VAC, 3 Phase.
OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus是一款功能強大的等離子體蝕刻器和asher，專為廣泛的研究和生產應用而設計。它利用多種氣體輸送系統提供靈活、高度控制的蝕刻工藝，適用於濕法和幹法蝕刻。它旨在在盡可能短的時間內持續提供精確、高質量的結果。Plasmalab 800 Plus適用於多種基材，包括矽、玻璃、陶瓷、碳化矽和聚合物材料。該系統還支持金屬等離子蝕刻等材料類型。該蝕刻器具有令人印象深刻的控制程度和可擴展性,可針對不同的蝕刻要求對不同的蝕刻階段進行最佳管理。OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus具有多種先進的蝕刻工具，如等離子體源執行器（PSA）、具有直流偏差的內熱蝕刻站、預編程階段移動、用於微調定時序列的VCR接口、遠程控制接口、可選的PC控制監控系統和主動氣體泄漏探測器。此外，該系統能夠同時進行低壓和高壓蝕刻，為用戶提供對工藝參數的精細控制。Plasmalab 800 Plus的用戶友好軟件界面具有豐富的功能，如預編程的Timer、配方控制和周期過程控制。這允許蝕刻過程的完全可重復性，允許用戶以更高的效率實現一致的結果。此外,OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus還提供了廣泛的過程監測,包括每個單獨工具的溫度和壓力讀數,以及來自等離子源執行器（PSA）的反饋。此外,Plasmalab 800 Plus還采用了創新的模塊化設計,允許進行額外的硬件升級以擴展其功能。最終，OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus提供了一種最先進的蝕刻解決方案，可以很容易地適應各種研究和生產應用的需要。
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